十大半导体设备公司以2023年营收作为依据，梳理出国产半导体设备十大公司。
十大半导体设备公司（一）之北方华创
北方华创是由七星电子和北方微电子战略重组而来。七星电子整合了原属营700、706、707、718、797、798五大国有优质电子厂；而北方微电子由北京电控联合清华、北大、中科院微电子所、中科院光电研究所共同出资设立。2016年北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，实施战略重组，实现资源整合和优势互补，并于2017年更名为北方华创科技集团股份有限公司，即北方华创。
2018年以1500万美元全资收购Akrion的全部资产及无息负债，成功整合Akrion清洗资源，进一步扩大清洗机市场。
目前北方华创已成为国内少有的平台型设备公司，产品品类齐全，国产化受益面广。公司在IC设备里覆盖刻蚀、薄膜、热处理、清洗、退火、氧化等多个环节，且在每一环节单项设备上均居国产第一梯队，公司整体覆盖设备占整体设备价值量比重有望过半。
北方华创的控股股东为北京七星华电科技集团有限责任公司，实际控制人为北京国资委。
在经营业绩上保持高速增长的趋势。公司营收从2014年的9.62亿元增长到2023年的220.79亿元，10年间翻了近22.95倍，GAGR36.80%。
值得注意的是，2023年北方华创以220.79亿元（31.33亿美元）的营业收入位居全球半导体设备厂商第8名，较2021年的第15名，上升了7个名次。这也充分说明，在国产替代的加持下，国内半导体设备企业迎来高速增长态势
净利润方面，10年来归母净利润从2014年的0.42亿元到2023年的38.99亿元，10年增长超90倍，达92倍，年复合增长57.32%。
随着国产替代的持续推荐和国家大基金三期的成立，半导体设备将优先受益，作为国内领先的半导体平台设备企业，将显著受益国产替代和大基金三期所带来的业绩提升。方正证券预计，公司在2024/2025/2026年分别实现营业收入309.40/409.28/511.60亿元，同比增长40.1%/32.3%/25.0%，实现归母净利润57.31/78.97/98.45亿元，同比增长47.0%/37.8%/24.7%。
十大半导体设备公司（二）之中微公司
中微公司，全称中微半导体设备(上海)股份有限公司，前身为2004年成立的中微有限，系由中微亚洲出资设立，设立时为外商独资企业，2018年12月21日中微有限整体变更为中微半导体设备（上海）股份有限公司，2019年7月，公司成为科创板首批上市公司之一。
公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。由MOCVD和刻蚀设备起步，逐渐拓展至LPCVD、ALD等薄膜沉积及其他设备，广泛布局半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备。
目前公司的等离子体刻蚀设备从65纳米到14纳米、7纳米、5纳米及更先进的集成电路加工制造和先进封装生产线已进入国际一线客户的晶圆生产线中。
在CCP（电容耦合等离子体）刻蚀设备方面：公司产品已进入5纳米及以下晶圆生产线，进入2D和3D存储器生产线，拥有2600+反应台在线生产，200+反应台进入5纳米及以下生产线，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，截至2023年中累计付运超过2500个CCP刻蚀反应台。
在 ICP(感应耦合等离子体)刻蚀设备方面：产品全面满足55nm、40nm和28nm逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺要求。
在MOCVD（有机金属化学气象沉积）刻蚀设备方面：公司产品拥有用于蓝光LED的Prismo D-Blue、Prismo A7能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力，Prismo A7在全球氮化镓基LED MOCVD市场中占据领先地位。
在LPCVD（低压力化学气相沉积）设备方面：Preforma Uniflex CW满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。
在VOC设备：平板显示生产线等工业用的空气净化，目前已经生产制造多台净化设备，并顺利的应用在各个客户端。
公司产品进入国内外主流的半导体和LED厂家。集成电路方面公司产品进入台积电、中芯国际、华虹集团、长江存储、海力士、联华电子、博世、意法半导体等国内外知名厂商，LED领域，产品进入三安光电、江西兆驰、华灿光电等优质客户。
目前公司有三大生产基地，分别是南昌生产和研发基地、上海临港产业化基地、临港总部暨研发大楼。
股权方面，公司第一大和第二大股东均是国资，尽管没有实际控制人，其实际控制人已成为国资，合计持股占比28.18%。截止2024年一季度，第一大股东是上海创业投资有限公司持有9348.35万股，占比15.10%，实际控制人为上海国资委；第二大股东为巽鑫(上海)投资有限公司持有8099.68万股，占比13.08%，实际控制人为国家集成电路产业投资基金。
在经营方面，营收和净利润保持高增长态势。公司营业收入从2016年的6.10亿元上升到2023年的62.64亿元，8年翻10倍，8年GAGR33.80%。2024年一季度实现营收16.05亿元，同比增长31.23%。
公司营收保持高增主要收在国产替代背景下，等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高。
归母净利润在2023年创出历史新高。根据中微公司年报显示，2023年公司归母净利润17.86亿元，同比增长52.67%，较2016年的亏损2.39亿元，增长了8倍多。
毛利和净利润率均呈上升态势。公司毛利率水平自2018年的35.5%上升至2023年的45.83%，提升+10pcts；净利率水平自2018年5.55%上升至2023年的28.51%，上涨幅度较大，主要系公司技术水平不断提升，产品具备竞争优势，产品结构改善，盈利能力不断增强。
随着国家大基金三期成立，新一轮晶圆厂扩建开启，公司作为半导体设备龙头和国产替代下，半导体设备将显著受益，公司业绩业务将迎来新一轮增长。华鑫证券预计，公司2024-2026年收入分别为83.29、108.31、138.73亿元。
目前公司以62.64亿元的营收，位居半导体设备公司第二名。
十大半导体设备公司（三）之盛美上海
1998年盛美在美国硅谷成立，而盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立于2005 年，2021 年科创板上市。公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管设备，相关产品广泛应用于集成电路前道晶圆制造（清洗、氧化、涂胶、显影、抛光、电镀等）和后道先进封装（清洗、涂胶、显影、电镀、去胶、刻蚀等）等领域。
股权方面，一股独大。截止2024年一季度，ACM Research持82.09%的公司股份，为公司的控股股东；公司创始人、董事长兼CEO HUI WANG为公司的实际控制人。
在经营方面，营收和净利润保持高增长态势。公司营收从2017年的2.54亿元增长到2023年的38.88亿元，增长了14倍多，7年GAGR47.66%。
2023年业绩大增，主要受益于国内半导体行业设备需求的不断增加、新客户拓展及新市场开发成效显现，订单量稳步增长，公司业绩整体快速增长。
净利润也在2023年创历史新高。数据显示，2023年归母净利润9.11亿元，同比增长36.21%；扣非后归母净利润8.68亿元，同比增长25.77%。较2017年的0.11亿元，增长了9倍。
2024Q1公司实现营业收入9.21亿元，同比增长49.63%；归母净利润0.80亿元，同比下降38.76%；扣非后归母净利润0.84亿元，同比下降22.36%。
一季度呈增收不增利，主要受到1)公司产品出货结构发生变化，拉低整体毛利率水平；2）研发投入增加；3）股份支付费用显著增加；4）公司持有的交易性金融资产公允价值变动损失同比大幅增加。
值得注意的是，2023年末公司存货金额39.25亿元（16.65亿元为原材料，其余为在产品、库存商品、发出商品），同样创历史新高，反映出盛美上海待确认收入的商品较多，未来营收有望保持较快增长。
此外，公司的市场份额也在不断的上升，据Gartner2022年统计，盛美上海在全球单片清洗设备的市场份额已升至7.2%。
在毛利方面，公司毛利稳步提升。2023盛美上海产品毛利率为51.99%，相比2022年的48.90%增长3.09pct，创历史新高，侧面佐证了公司产品高端化取得成果。
随着半导体进入新一轮的景气周期以及国产替代加速推进下，公司业绩有望进入新一轮的增长阶段。中邮证券预计，公司2024/2025/2026年分别实现收入57/78/107亿元，实现归母净利润分别为11/16/25亿元。
十大半导体设备公司（四）之至纯科技
至纯科技，全称上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年。公司主要从事高纯工艺系统和高纯工艺设备的设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。公司的高纯工艺系统业务包括为电子、生物医药等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统整体解决方案。半导体清洗装备产品主要包括湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗设备。
2015年公司开始布局半导体湿法工艺设备领域。2019年，并购波汇科技成立了光电子事业部，补充了公司在光电子元器件领域的能力，同年公司并购了珐成浩鑫，成立了生物技术事业部。公司深耕电子、生物和能源领域20年，形成了工艺、设备、材料三位一体的发展战略。
公司主营业务分属六大全资控股子公司，分别是至纯集成、至微科技、至一电子、珐成浩鑫、波汇科技、至纯精密。
目前公司在全球范围内有六大生产制造基地和研发服务中心，分布于上海、江苏启东、安徽合肥、浙江海宁、天津以及海外日本。
此外，启东设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用，产线顺利建设完成，已经正式投产；海宁模组及精密制造基地8.5万平米交付启用，设备机台顺利移入，已经正式投产；克服巨大外部困难建设的日本子公司办公及厂房约5,000平米完成交付和搬入，正式启用，为进一步开拓海外市场的发展提供了基础。
公司营业收入持续增长，归母净利润也呈稳增长态势。营收方面，公司营业收入从2014年的2.02亿元，增长到2023年的31.51亿元，10年翻了15.6倍，10年GAGR31.62%。净利润方面，在2019年之前，整体较为平稳，2019年公司归母净利润首次突破1亿元，随后业绩进入高增长阶段。2023年归母净利润达3.77亿元，同比增长33.58%，创历史新高。
值得注意的是，2024年一季度营收和净利润增长均陷入了停滞。2024一季度公司实现营业收入8.11亿元，同比+3.48%；归母净利润0.64亿元，同比+1.45%。
公司合同负债和在手订单饱满。截至2024年Q1末公司合同负债为5.42亿元，同比+78.77%。新签订单方面，2023年公司新签订单总额为132.93亿元，其中包含电子材料及专项服务5年-15年期长期订单86.61亿元，2024年公司预计年度新签订单区间55-60亿元（不含5-15年长期订单），制程设备订单区间为15-20亿元，2024Q1公司新签订单13.77亿元，其中制程设备新签订单5.13亿元，公司制程设备的交付在2024年目标为13亿元。
随着半导体行业拐点逐步确定和大基金三期成立，半导体产业有望进入新一轮的上行周期。华金证券，预计2024年至2026年营业收入为41.86/51.61/59.31亿元，增速分别为32.9%/23.3%/14.9%；归母净利润为5.15/6.58/7.85亿元，增速分别为36.4%/27.8%/19.4%
十大半导体设备公司（五）之拓荆科技
拓荆科技股份有限公司成立于2010年，公司聚集于薄膜沉积设备，是该领域的国产龙头。
2011年公司首台12英寸PECVD（等离子增强化学气相淀积）出厂到客户端验证，后续逐渐拓展到ALD、SACVD、HDPCVD等产品领域。2022年公司在科创板成功上市。
公司产品已适配国内最先进的28/14 nm逻辑芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128层3D NAND FLASH晶圆制造产线，尤其在PECVD和SACVD领域，公司是本土唯一实现产业化应用的供应商。在薄膜沉积设备基础上，公司还积极布局先进封装领域，成功研制应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备系列。
公司产品已打入中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微等国内主流圆晶厂产线中，成长为薄膜沉积设备的国产领军企业。
公司形成了以PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、SACVD（次常压化学气相沉积）及HDPCVD（高密度等离子体化学气相沉积）为主的薄膜设备系列产品。
1）PECVD ：已配适180-14nm 逻辑芯片、19/17nm DRAM 及64/128 层FLASH 等制造工艺需求，并积极拓展更先进制程领域。
2）ALD：PE-ALD已经成功量产，兼容SiO2和SiN等介质薄膜；Thermal ALD正在产业化验证，满足Al2O3等金属化合物薄膜沉积需求。
3）SACVD：可以沉积BPSG、SAF、TEOS等介质薄膜，在逻辑、存储领域均已实现产业化应用。
4）HDPCVD：设备主要应用于深宽比小于5:1 的沟槽填充工艺。截至23年底，公司HDPCVD 产品已累计出货超过40 个反应腔。
5）混合键合设备：晶圆对晶圆键合产品Dione 300可实现混合键合和熔融键合工艺，芯片对晶圆键合设备Pollux主要用于晶圆及切割后芯片的表面活化及清洗。
其中，PECVD是公司主要收入来源，2018-2023年收入占比分别高达73.19%、98.60%、96.01%、89.11%、91.65%和85.76%。
公司股权较为分散，最大股东为国资股东，占比达33.36%。截止2024年一季度，国家集成电路产业投资基金股份有限公司是公司的第一大股东，占股19.76%；第二大股东为国投(上海)创业投资管理有限公司，占股比例为13.60%，为国家开发集团的孙公司，国资股占比达33.36%；中微公司是其第三大股东，持有公司7.37%股份，其董事长尹志尧先生为公司董事之一。
营业收入快速扩张，净利润暂时承压。2019年公司营收为2.51亿元，至2023年营收达27.05亿元，2019-2023年CAGR高达81.14%。净利润方面，2023年归母净利润6.63亿元创下历史最好成绩。
24Q1公司营收为4.72亿元，YoY+17.25%，归母净利润为0.10亿元，YoY-80.51%。一季度业绩大幅下滑主要受销售费用大增影响。
此外，公司在手订单充足，年报显示，2023年年末在手销售订单金额超过64亿元（不含Demo订单）。
公司销售毛利持续提升，2023年毛利首次超过50%，达51.01%，创历史新高，较2019年的31.85%，提升了19.16个百分点。
随着国产替代的持续推进，市占率也在不断提升，以及下游需求回暖和国家大基金三期成立，半导体晶圆制造新一轮扩张周期开启，公司作为薄膜沉积设备的龙头厂商，将显著受益。
中泰证券，预计公司2024-26年实现营收39/53/67亿元，同增46%/35%/25%，归母净利润分别为8/12/16亿元，同比增长20%/47%/35%。
十大半导体设备公司（六）之华海清科
华海清科，国产化学抛光设备的龙头。
华海清科股份有限公司，成立于2013年，2022年6月8日登入科创板，从成立到上市只用了9年时间。
公司产品以12寸CMP设备Universal-300系列为主，涵盖逻辑芯片、3D NAND、DRAM制造等应用。2014年成功研制首台12英寸CMP设备，并于2016年通过头部晶圆厂验收，后续12英寸CMP设备不断更新迭代，推出多种型号满足差异化需求。
公司坚持“装备+服务”的平台化发展战略，深耕集成电路制造上游产业链关键领域，覆盖CMP设备、减薄设备、湿法设备、测量设备、晶圆再生、耗材服务等业务。
公司CMP设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。
公司背靠清华，四川国资委为实际控制人。公司股权结构稳定，四川国资委间接控股清控创业，为公司实际控制人。截止2024年一季度，清控创业持有华海清科28.19%股权，清津厚德员工持股平台为第二大股东，持有6.47%%股权，充分调动员工积极性。此外，公司董事长、首席科学家、30项化学机械抛光核心技术主要完成人之一路新春持有5.95%股权，公司研发人员多为清华背景，公司技术实力雄厚。
营收呈现高增长态势，2018-2023年CAGR达102%。公司2018年收入仅为0.36亿元，2023年收入为25.08亿元，2018-2023年CAGR达102%，实现高速增长，主要系CMP设备订单获取形式为验证→小批量订单→大批量订单，公司在头部晶圆厂中的市占率不断提升，加上新客户持续拓展，公司收入体量迅速攀升。
公司利能力持续优化，规模效应显现。公司2020年实现扭亏为盈，归母净利润为0.98亿元，2023年归母净利润为7.24亿元，2020-2023年CAGR为64.86%，实现高速增长。
2024年一季度公司业绩继续保持稳增长的态势。数据显示，华海清科Q1实现营收6.80亿元，同比增长10.40%，环比增长1.88%；实现归母净利润2.02亿元，同比增长4.27%，环比增长26.49%；实现扣非净利润1.72亿元，同比增长2.78%，环比增长15.36%。
公司在手订单充裕，盈利有望继续保持高增态势。根据公司公告，截至2023Q4公司存货24.15亿元，2024Q1存货27.32亿元，环比持续提升，2024Q1末存货水平创历史新高；2023Q4末合同负债金额13.28亿元，环比Q3的12.73亿元提升，2024Q1合同负债12.26亿元，维持高位。公司在手订单充裕，有望支撑未来业绩保持增长。
公司作为国产化学抛光机的龙头，占据国产CMP设备销售的绝大部分市场份额，在半导体需求回暖和国产替代浪潮不断推进下，公司业绩有望保持增长。
华西证券，预计2024-2026年营业收入分别为35.00、47.40和60.34亿元，同比+40%、+35%和+27%，2024-2026年归母净利润分别为10.09、13.33和16.99亿元，同比+39%、+32%和+27%。
十大半导体设备公司（七）之精测电子
精测电子，全称武汉精测电子集团股份有限公司，创立于2006年4月并于2016年11月于深交所创业板上市。
公司主要从事显示、半导体及新能源三大领域检测系统的研发、生产与销售。
1）显示领域：产品覆盖LCD、OLE D、MicroOLED、MicroLED等各类平板显示器件检测设备，包括信号监测系统、OLE D调测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备等。
2）半导体领域：已基本形成在半导体检测前道、后道全领域布局，主要产品包括电子束关键尺寸量测设备、薄膜量测设备、光学关键尺寸OCD量测设备等。
3）新能源领域：主要产品为锂电池生产及检测设备，包括锂电池化成分容系统、切叠一体机、锂电池视觉检测系统和BMS检测系统等。
目前面板显示检测设备仍是公司的主要收入，2023年营收17.48亿元，占比71.94%。
在半导体检测领域，目前公司已经成为国内半导体检测设备领域领军企业之一，已基本形成半导体检测前道、后道全领域的布局，研发的膜厚OCD量测设备、电子束量测设备基本填补了国内空白，产品已进入广州粤芯、长江存储、中芯国际等知名半导体厂商。
半导体检测设备的营收从2022年的1.83亿元，占比6.69%上升到2023年的3.95亿元，占比16.24%。
公司股权结构稳定，子公司各司其职。截至2024年一季度，公司董事长兼总经理彭骞直接持有公司25.21%的股份，是公司的实际控制人与控股股东。
通过成立11家子公司来布局半导体、显示、新能源三大行业。武汉精立、苏州精濑、武汉精毅通等开展平板显示检测业务；上海精测、上海精积微、深圳精积微、北京精测、武汉精鸿等开展半导体业务；武汉精能与常州精测则聚焦新能源市场。
公司产品打入主流厂家。在显示领域，公司自设立以来一直致力于平板显示检测设备的研发、生产和销售，积累了丰富的行业客户资源和品牌知名度，客户已全面覆盖LCD、OLED主要厂商如京东方、惠科股份、华星光电、天马微、Apple、维信诺、群创光电、中国电子和明基友达等；在半导体领域，公司与中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、广州粤芯等众多客户建立了良好的合作关系；在新能源领域，公司与中创新航在锂电设备领域开展深度合作。
受下游需求疲软以及高强度研发投入，2023年业绩出现承压。2023年受全球经济复苏趋势放缓、显示面板行业处于周期底部、半导体和新能源业务仍处高投入期等综合因素影响，公司业绩阶段性承压，实现营收24.3亿元，同比减少11.0%，实现归母净利润1.5亿元，同比减少44.8%。2024年一季度，公司实现营收4.2亿元，同比减少30.5%，实现归母净利润-0.16亿元，同比减少234.1%。
但2014-2023这10年间，公司营收从2014年的2.54亿元增长到2023年的24.29亿元，10年GAGR25.33%。
公司在手订单充足，半导体已成为营收增长重要驱动。截止年报披露日，公司取得在手订单金额总计约35.36亿元，其中显示领域在手订单约12.48亿元、半导体领域在手订单约16.02亿元，占整体订单的近一半，新能源领域在手订单约6.86亿元。
随着2024年消费电子市场有望回暖，公司半导体领域业务的快速发展，及公司充足的在手订单。浙商证券预计公司2024-2026年营收分别为29.6、37.2、46.8亿元，同比增速分别为21.8%、25.8%、25.8%；归母净利润分别为2.7、3.9、5.4亿元，同比增速分别为78.3%、44.4%、38.8%。
十大半导体设备（八）之富创精密
富创精密，全称沈阳富创精密设备股份有限公司，于2008年在辽宁沈阳成立，2022年于科创板上市，是国内半导体设备精密零部件的龙头企业。
公司专注于金属材料零部件精密制造技术，主营产品包括工艺/结构零部件、模组产品、气体管路四大类产品，应用于半导体光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等。其中，模组产品是公司核心产品，2023年模组产品收入9.25亿元，占总收入的44.77%，2022年占比26.48%；其次是结构零部件，2023年收入4.91亿元，占比23.77%；第三，工艺零部件，2023年收入4.57亿元，占比22.10%。
公司已具备精密机械加工、表面处理、焊接、组装以及检测等多种生产工艺和制造标准，产品应用于半导体设备、泛半导体设备等领域，工艺完备性处于全球领先水平，是全球为数不多能够量产应用于7nm工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。
公司产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，实现了部分核心零部件国产化，解决了国内半导体供应链“卡脖子”的问题。
公司股权结构清晰，实际控制人控制力稳。截止2024年一季度末，沈阳先进为公司第一大股东，持有公司16.91%的股份；公司实际控制人为董事长兼总经理郑广文，直接和间接合计可控制公司24.56%的股份表决权，比第二大股东宁波祥浦（持股16.17%）高出8.39%，因此董事长郑广文对公司生产经营、重大决策具有稳定的实际控制力。其他持有本公司4%以上股份的股东包括上海国投、辽宁中德、辽宁科发。
同时，公司有多家控股，参股子公司。旗下拥有沈阳融创、南通富创、富创研究院3家境内全资子公司和美国富创、日本富创、新加坡富创3家境外全资子公司和北京富创、上海广川、沈阳强航等多家境内控股或参股公司。其中，公司参股35%的上海广川为国内研制设备机械手的领军企业之一，拥有多项半导体制造的相关发明专利。
公司营收保持稳增长态势。公司营收从2018的2.25亿元，上升到2023年的20.66亿元，增长818%，6年GAGR44.71%。
值得一提的是，2024年一季度公司实现营业总收入7.0亿元，同比增长105.5%，单季度营收创历史新高。
公司2020年业绩转正，归母净利润达0.93亿元，2022年达2.45亿元。受业务结构变动、扩产及股权激励计提费用影响，2023年盈利能力有所下滑，归母净利润1.69亿元，同比下滑31.28%。2024年一季度公司业绩重返正增长，归母净利润0.67亿元，同比增长53.42%。
随着新一轮半导体产业周期开启，公司作为半导体设备零部件龙头将显著受益，业绩有望继续保持高增的态势。中信建投预计，公司2024-2026年营业收入分别为31.18、43.48、57.11亿元，同比分别增长50.96%、39.41%、31.36%，2024-2026年归母净利润分别为3.33、4.92、6.76亿元，同比分别增长97.66%、47.64%、37.27%。
十大半导体设备（九）之长川科技
杭州长川科技股份有限公司立于2008年4月，并于2017年4月在深交所创业板上市。目前公司已成为全球第六大、中国第一大半导体测试设备企业。
公司通过外延并购，不断完善战略布局。2019通过收购新加坡STI，成功踏入前道晶圆检测领域.
公司产品包括测试机、分选机、探针台、AOI设备和自动化设备乐鱼最新版。
测试机：测试机是检测芯片功能和性能的专用设备，测试机对芯片施加输入信号，采集被检测芯片的输出信号与预期值进行比较，判断芯片在不同工作条件下功能和性能的有效性。公司的测试系统包括数模混合测试机、功率器件测试机、全浮动测试机、雪崩模块。可测试运算放大器、比较器、模拟开关、功率放大器、马达驱动器、霍尔器件、三端稳压器、DC-DC电源管理器、AC-DC电源管理器、锂电池保护电路、收音机电路等模拟电路。Ø
分选机：分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。在设计验证和成品测试环节，测指纹模组等领域的自动化生产设备。
探针台：在晶圆检测环节，测试机需要和探针台配合使用，对晶圆上的芯片进行功能和电参数性能测试。公司成功开发出全自动12英寸探针台。Ø
AOI光学检测设备：通过光学成像的方法获得被测对象的图像，经过特定算法处理及分析，与标准模板图像进行比获得被检测对象缺陷。公司AOI检测设备包括晶圆光学外观检测设备、电路封装光学外观检测设备。
公司产品打入了集成电路封装测试企业、晶圆制造企业、芯片设计企业生产线中，得到了长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微、日月光等多个集成电路知名企业的使用和认可。
公司股权结构清晰，股权激励绑定核心员工。公司实际控制人为赵轶、徐昕夫妇。截止2024年一季度末，赵轶直接持有公司22.59%的股份，为公司第一大股东；第二大股东为杭州长川投资管理合伙企业，占比为5.99%；公司第三大股东为董事副总理钟峰浩，持股5.22%；国家集成电路产业基金为第四大股东，占比4.90%。
公司2022年限制性股票激励计划首次授予落地，首次授予限制性股票420万股，授予价格25.17元/股，激励对象为公司核心人员156人，考核目标为以2021年营业收入为基数，2022/2023/2024年营收增速不低于25%/56%/95%。股权激励进一步绑定公司核心员工，提升团队凝聚力。
公司营收持续攀升，2023年短暂承压。公司营收从2014年的0.78亿元，上升到2022年的25.77亿元，增长了32倍，9年GAGR47.50%。
2023年公司营收17.8亿元，同比-31%，归母净利润0.5亿元，同比-90%，主要系市场景气度疲软，需求下降导致销售收入减少。
公司净利润方面，整体波幅较大，2021年净利润首次破亿，2022年净利润达4.61亿元，创历史新高，随后2023年大幅下滑。
不过2024年一季度业绩拐点出现，营收端改善明显。2024Q1公司实现营收5.59亿元，同比+74.81%，收入同比出现明显改善。2024Q1公司归母净利润和扣非归母净利润分别为408和163万元，分别同比+107.12%和+102.43%。
随着下游需求回暖和大基金三期期的成立，公司作为测试设备的龙头，有望在新一轮的半导体扩展中显著受益。华西证券，预计2024-2026年营业收入分别为30.92、43.76和53.88亿元，同比+74%、+42%和+23%，2024-2026年归母净利润分别为4.76、8.03和10.86亿元，同比+955%、+69%和+35%。
十大半导体设备（十）之芯源微
芯源微，全称沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，2019年12月16日在科创板上市。
由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。公司涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，在后道先进封装和LED芯片制造等环节已实现国产替代。
涂胶显影设备：公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，经过长期的技术积累和在客户端的验证及量产应用，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。
单片湿法设备：目前公司产品主要包括去胶机、湿法刻蚀机、清洗机三种。
公司股权结构稳定，背靠中科院。股权较为分散，无控股股东和实际控制人，但第一大股东和第三大股东均为国资。截至24年一季报，辽宁科发实业有限公司持股10.66%，系公司第一大股东，实际控制人为辽宁国资委；中科院沈自所间接持有公司8.45%股权，为公司提供技术资源支持，为第三大股东。
因此，从公司属性来看，国有股为第一大股东，占比19.11%。
公司营收稳健增长，两大业务同步增长。公司营业收入由2018年的2.10亿元增长至2023年的17.17亿元，CAGR为52.23%。随着公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构FT300（III）等重点产品在客户端的导入，未来公司营收有望继续呈稳步提升趋势。
从营收结构来看，2023年，公司销售规模扩大，其中光刻工序涂胶显影设备产品营业收入达10.66亿元，较上年同期增长40.80%，贡献了62.1%的营收，主要原因是涂胶显影机产品收入增长；单片式湿法设备产品营业收入达6亿元，较上年同期增长9.09%，贡献了34.9%的营收，主要是清洗机、去胶机产品收入各有所增长。
今年一季度营收出现承压。24Q1公司营业收入为2.44亿元，同比下滑15.27%，主要由于24Q1公司整体机台验收计划相对较少，出现季节性波动，其中前道产品收入保持高速增长，后道先进封装和化合物领域由于23年新签订单有所下滑，24Q1机台验收较少。
归母净利润呈上升态势，毛利率也在持续回升。公司的归母净利润由2018年的0.30亿元增长至2023年的2.51亿元，CAGR为52.41%，主要系公司销售收入增长。
毛利率方面，2023年公司毛利率为42.53%，较2022年提升4.13pct，盈利能力同步提升，主要原因是公司持续加大研发投入，不断提升产品性能及服务水平，产品综合竞争力持续增强，综合毛利率水平稳健增长。
公司在手订单充足，业绩有望保持稳增长态势。2023年公司全年新签订单与2022年基本持平，截至2023年期末，公司在手订单约为22亿元(含税)，可以对2024年业绩起到较好的支撑。
公司作为先进封装涂胶显影设备领域国产化龙头，在当前行业beta持续演绎的阶段有望充分受益，另外，化学清洗机、临时键合、解键合设备等业务有望贡献未来增长点，故可享受一定估值溢价,华福证券预计公司将在24-26年实现营业收入22.9/30.3/39.2亿元。
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